產(chǎn)品分類：三氟化氮

名稱/化學(xué)式：三氟化氮/NF3
包裝規(guī)格：44L、17L
純度(%)及雜質(zhì)(ppm)：99.99%

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產(chǎn)品詳情

氣體標(biāo)識

名稱：nitrogen trifluoride　分子式：NF3

氣體物化特性

分子量 熔點(diǎn) 沸點(diǎn) 臨界溫度 臨界壓力 液體密度 氣體密度 CAS號 71.01 -206.8℃ -129℃ -39.3℃ 44.02(4.46MPa) 1554kg/m3(沸點(diǎn)時) 2.95kg/m3(21℃） 7783-54-2

包裝

鋼瓶容積 鋼瓶型號 閥門 鋼瓶壓力 氣體質(zhì)量 危規(guī)號 UN編號 包裝分類 包裝標(biāo)志 47L、43.3L、40L、8L DOT-3AA、G B 5099 CGA330、CGA640 9.0-13.0MPa 22kg、20kg、3.4kg 23016 2451 Ⅱ 6

儲存及運(yùn)輸

三氟化氮?dú)馄繎?yīng)儲存于陰涼、通風(fēng)倉庫內(nèi)。三氟化氮?dú)馄繎?yīng)遠(yuǎn)離火種、熱源、防止陽光直射，與還原劑、易燃或可燃物等分開存放。

三氟化氮?dú)馄吭诎徇\(yùn)時要輕裝、輕卸，防止鋼瓶及附件破損。

三氟化氮?dú)馄康倪\(yùn)輸按危險品運(yùn)輸。運(yùn)輸時用氣瓶固定架將三氟化氮?dú)馄抗潭ê茫闷嚬愤\(yùn)輸或用輪船集裝箱運(yùn)輸。

泄漏應(yīng)急處理

如遇有三氟化氮?dú)怏w泄露，工作人員要馬上撤離泄漏污染區(qū)，并盡可能采取措施阻止三氟化氮?dú)怏w的進(jìn)一步泄露。如有工作人員中毒，應(yīng)立即送往醫(yī)院救治。

泄露現(xiàn)場要盡快處理，處理泄露現(xiàn)場的工作人員必須配戴必要的防毒，最好是自給正壓式呼吸器。泄露現(xiàn)場經(jīng)檢測無危害氣體后方可進(jìn)入工作人員，泄露容器必須經(jīng)仔細(xì)檢查、維修或妥善處理好后方可繼續(xù)使用。

三氟化氮?dú)怏w產(chǎn)品質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)（QJ58-2007）

雜質(zhì) NF3≥99.995% Vol.% NF3≥99.99% Vol.% NF3≥99.98% Vol.% NF3≥99.9% Vol.% CF4 ≤20 Vol.ppm ≤40 Vol.ppm ≤100 Vol.ppm ≤500 Vol.ppm N2 ≤5 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤50 Vol.ppm O2+Ar ≤3 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤50 Vol.ppm CO2 ≤1 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm H2O ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm 酸份（以HF計） ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm SF6 ≤1 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤25 Vol.ppm N2O ≤1 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm CO ≤0.5 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm

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三氟化氮（NF3）主要用途

是用作氟化氫－氟化氣高能化學(xué)激光 器的氟源，在h2-O2與F2之間反應(yīng)能的有效部分（約25%）可以以激光輻射釋放出，所HF-OF激光器是化學(xué)激光 器中最有希望的激光 器。三氟化氮是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對硅和氮化硅蝕刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳與氧氣的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對表面無污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留殘留物，同時也是非常良好的清洗劑。

用作高能燃料。

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目前三氟化氮工業(yè)化生產(chǎn)

有兩條路線,一是合成法:將氟化氫銨在鎳制反應(yīng)器中加熱,氟氣、氮?dú)夂桶蓖ㄟ^分布器進(jìn)入反應(yīng)器直接氟化反應(yīng)。二是電解法:在一定溫度下,電解熔融的氟化氫銨,電解過程中陽極產(chǎn)生三氟化氮,陰極產(chǎn)生氫氣。我國三氟化氮生產(chǎn)廠家的生產(chǎn)方法為上述兩種方法。

產(chǎn)品名稱：三氟化氮

產(chǎn)品類別：化工/氣體

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