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產品介紹

序號	電子混合氣體匯總
1	二氯硅烷（DCS)5000ppm + N2； 二氯硅烷（DCS) 15ppm + N2
2	二氯硅烷（DCS)10 ppm + 三氯硅烷(TCS)10 ppm + 氦
3	HCl 50ppm + 二氯硅烷（DCS)1000ppm + 平衡He
4	硅烷1% + 二氯硅烷（DCS)1% + 三氯硅烷(TCS)1% + 四氯化硅1% +氮
5	硅烷50ppm + 三氯硅烷(TCS)1000ppm + He
6	三氯硅烷(TCS) 15ppm + N2
7	乙硅烷(Si2H4） 100ppm ～ 200ppm + H2
8	乙硅烷 10ppm + He
9	CO2 5ppm + 硅烷135ppm + 乙硅烷 1000ppm + He
10	SiH4 5ppm ～ 15%+Ar(H2/N2/He)
11	H2 5ppm + Ar 5ppm +N2 5ppm +CO 5ppm + CH4 5ppm + CO2 5ppm + 硅烷 1000ppm 的平衡He
12	乙硼wan50～100ppm + H2
13	砷烷 100ppm～0.7% + H2
14	鍺烷 1%～10% + H2
15	三氯化硼1%～5% + N2（He）
16	PH3 0.8ppm ～ 500ppm + He(H2)
17	HCl 9ppm～50% + N2
18	NF3 99.99% 180g～1500g
19	NF3 20ppm～30ppm + Air
20	NF3 15ppm + N2
21	CF4 80% + O2
22	Ar 5ppm～80% + Ne（H2/He/N2）
23	Kr 8%～50% + Ar
24	Ne 80%～97% + Ar

產品名稱：電子混合氣

產品類別：化工/氣體

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